目前所用的ICP主要采用氩气，然而引入其他种类气体对实际测试可达到非常有用的效果。Fassel型炬管不适合用于引入其他种类气体，即便在较低浓度范围内，也会使等离子体熄灭。等离气体可以采用纯氩气(99.99%),其装置的接头必须做检漏实验，另外还要对输出气进行测定，具体办法是先拔掉检测器插头(目的保护检测器)再做点火实验，看点火是否顺利，是否有杂音，
形成ICP焰炬通称为点火。点火分为三步：第一步是向外管及中管通入等离子体和辅助气，此时中心管不通气体，在炬管中建立氩气气氛；第二步向感应圈接入高频电源，一一、氩ICP光源有良好的分析性能，分析灵敏度高且光谱背景较低；二是用氩作等离子体易于形成稳定ICP,所需的高频功率也较低。在ICP光谱技术发展过程中，曾多次探
ICP光谱仪使用的工作气体为高纯氩气(99.999%),在分析过程中，氩气的作用可谓是举足轻重，它的作用是产生等离子体的电离气体，使用电感耦合的方法将电磁能量耦合给氩气，气体电离成为等7、开机后，首先预热、波长校正，然后再点火，以减少氩气的消耗量，同样，完成样品的分析后，应熄火以节约气体。8、ICP点火不成功的可能原因有：Ar气不纯，雾化室中驱气不完全或炬管安装不
＋０＋ 一般使用氩气，外管与中间管之间通氯等离子体入10～20L/min氩气，称为等离子气(通常称为冷却气),它是形成等离子体的主要气体，起到冷却炬管的作用。中间管与内管之间通入0.5～1.5L/min1产生的等离子体火焰对发射光谱产生极少的干扰，2原子化的特性，电离或激活元素周期表上的大多数元素，3在氩和其它元素间缺乏稳定的化合物形式，4比其它稀有气体
此外，ICP 点火前，仪器会用氩气对进样系统进行吹扫，以排除进样系统内的空气，然后在氩气的氛围内点火。如果氩气管路漏气，则会混入空气，则相当于使用了纯度不够的氩气，导致点ICP的形成就是工作气体的电离过程，现在商用仪器的工作气体绝大部分都是用的氩气作为工作气体。为了形成稳定的ICP炬焰需要四个条件：高频率高强度的电磁场，工作
