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ICP是什么设备,icp光谱仪的工作原理

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进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分。工件送入被真空泵抽空的反应室。气体被导入并与等离子体进行交换。等离子体在工件表面发生反应,反应的挥发性副产物被真空泵抽走ICP-AES电感耦合原子发射光谱仪作为一种大型精密的无机分析仪器。

icp直读光谱仪,又名电感耦合等离子体光谱仪,属于光谱仪的一大分支,主要用于检测微量及衡量元素的分析,可分析的设备名称:ICP刻蚀机-Cl设备型号:NE-550H(CL)厂家:爱发科设备编号:13015109设备分类:刻蚀设备功能简介:用于金属刻蚀。设备性能指标:1、操作方式:自动化操作;2、

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