3.现有的高压放电等离子体废气处理装置在废气通入装置内部之前需要对废气中的大颗粒灰尘和异物进行过滤处理，现有的废气处理设备主要是将废气直接排放至滤网的表低温等离子体废气处理技术简介低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和
╯＾╰〉 待处理气体在反应器中经过压缩、高压聚能放电成为高温等离子体。处理过程中气体由常温急剧上升至3 千度高温，反应器压力增高，气体体积也因此急剧膨胀，在极短的时间里完成等离子体降解废气系统实验目的：1. 了解废气产生的原理，制备模拟废气的方法。2. 了解介质阻挡放电等离子体产生的原理。3?了解等离子体降解降解废气的过程。实验原理：本
大气压等离子体废气处理流程典型反应： C2F6& SiH4高温等离子体反应分解的废气3. 产业现场(工厂)废气处理基本原理当有害气体通过等离子体反应器时，施加宽度窄、上升时间短的高压脉冲，流光电等离子废气处理原理：采用高压发生器产生并形成低温等离子体，在平均能量大约在5eV的大量电子作用下，使通过净化器的废气成分苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，
3、气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子废气处理技术设备腐蚀问题。4、等离子废气处理设备主机为成套工业废气等离子电晕废气示波器高压实验实实四高实实实等子实理实实实实第一步：了解实实等子实理实实实实置的系实实成一、本实实置由下面部分实成——20L/min模实实流量
