等离子表面处理的原理，主要是利用等离子体中的活性粒子进行“活化作用”，以达到去除材料表面污染物的处理用人工方法，如核聚变、核裂变、辉光放电及各种放电都可产生等离子体。普通气体温度升高时，气体粒子的热运动加剧，使粒子之间发生强烈碰撞，大量原子或分子中的
等离子体中的离子和电子通过扩散和复合而消失。为了维持稳定的等离子体，外部刺激会产生更多的电子和离子，因此必须平衡产生和损失的速度。大多数等离子体产生方法是加热自由电子，将等离⼦体发⽣器的放电原理：利⽤外加电场或⾼频感应电场使⽓体导电，称为⽓体放电。⽓体放电是产⽣等离⼦体的重要⼿段之⼀。被外加电场加速的部分电离⽓体中的电⼦与中性分⼦
在等离子体具体的产生过程中，大气等离子清洗机是把无水无油的压缩空气即CDA,通过喷枪电极电离而形成等离子体。而真空等离子清洗机是先将反应腔体抽成真空状态，然后通入反应气体，维离子体能够导电，和电磁力起反应。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体愈来愈稀薄，分
等离子产生的原理：宏观物质在一定的压力下随温度升高由固态变成液态，再变为气态(有的直接变成气态)。当温度继续升高，气态分子热运动加剧，当温度足够高时，分子二、等离子体产生方法体放电法电子在电场作用下获得加速的动能，与气体分子发生碰撞，使气体电离，并与二次电子发射等其他机制结合，产生气体击穿放电，形成等离子体。三、等离
