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反应离子束刻蚀机,300mm口径离子束刻蚀

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本产品是“标准型反应离子刻蚀机(RIE)”的全自动双室产品。ꄴ上一个:RIE-3反应离子刻蚀机详细描述本产品通过物理与化学相结合的方法,对很细的线条(亚微米以下)进行刻蚀以产品特性:离子束品牌:那诺-马斯特规格:14.5”腔体类型:反应离子束刻蚀型号:NIM-4000(M)产地:美国反应离子刻蚀NIE-4000(R)RIBE反应离子束刻蚀刻蚀机详细介绍NIE-4000(R)R

╯^╰〉 反应离子束蚀刻机:配备Vecco条形离子源,可以实现大面积扫描蚀刻,常用气体Ar,CF4,CHF3,SF6。负责人:盛斌老师版权所有© 2017 上海理工大学光电信息与计算机工程学院张大伟百度爱采购为您找到85条最新的反应离子刻蚀机产品的详细参数、实时报价、行情走势、优质商品批发/供应信息,您还可以免费查询、发布询价信息等。

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