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?▂? 美国Advanced Energy 射频等离子体发生器Paramount HFi维修找深圳市佳轩工业自动化有限公司为半导体工厂，液晶面板工厂等提AE,MKS(ENI),DAIHEN,AD-TEC,KYOSAN,RFPP SERE等离子发生器的工作原理及构造一. 工作原理：1. 电弧的物理本质——气体放电电弧是在阴、阳两电极和它们之间的气体空间组成。电弧的带电粒子主要依靠气体空间的气体的电离
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