我们常说的先进芯片，是指生产工艺小于28纳米，即28\14\7\5\3nm制程的芯片，此次上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，虽然标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正最佳答案中国首台5纳米光刻机掩模对准曝光机，中国首台5纳米光刻机国家手中的ASML公司已经能够研制出5纳米工艺以上的光刻机，最高甚至能够达到2纳米，中国因为起步晚，并且长期遭遇国
主要原因是中国还没能自行研发出高性能光刻机，但前不久一个好消息传来，国内一个科研团队研究出了一种新的芯片制造技术，不用光刻机，也能让中国公司照样制造5纳米级别的高性能芯片，5纳米光刻机，中国肯定做得出来。但只是目前还没办法做出来，因为中国现在的科技实力还达不到。现在中国最好的光刻机公司，是上海微电子厂，上海微电子厂生产的最新光刻机还是28纳米。
可以生产出纳米尺寸更小、功能更强大的芯片。小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻机生产。EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。目前，最美国拉拢日本和荷兰组建所谓的“封锁联盟”，连用于成熟工艺的DUV光刻机也试图不卖给中国芯片，阻止中国芯片的发展，然而随着中国一家芯片企业的首台国产光刻机入驻生产线，美国的图谋
所以不夸张的话，现在中国想要自主生产出来一台能够稳定批量制造5纳米制程芯片的光刻机，也许10年也许20年都是有可能的。毕竟现在这方面的技术处在被封锁的阶段、光源等核心部件中中芯国际订购了首台最先进的EUV(极紫外线)光刻机)光刻机，价值1.2亿美元。目前，业内已达成共识，必须使用EUV光刻机才能使半导体芯片进入7nm,甚至5nm时代。今天，
